推荐薄膜群、薄膜粒子以及制造方法

本站提供的推荐薄膜群、薄膜粒子以及制造方法,为您描述接下来的内容: 薄膜群、薄膜粒子以及制造方法[0001]本发明涉及通过物理蒸镀方法生产的薄膜群、薄膜粒子以及制造方法。[0002]物理蒸镀还可称为干式镀膜,相较于

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薄膜群、薄膜粒子以及制造方法

[0001]本发明涉及通过物理蒸镀方法生产的薄膜群、薄膜粒子以及制造方法。
[0002]物理蒸镀还可称为干式镀膜,相较于湿式方法,是自然环保且无害的方法,因此是使用于各种领域的薄膜形成方法之一。

[0003]最近,在各个领域广泛使用利用纳米粒子或微粒来制造产品的技术。
[0004]使用微粒及其制造方法的领域和产品为如下所述。作为用于制造导电性糊剂的材料使用由银(Ag)或铜(Cu)或银铜复合层构成的微粒,而且还使用于制造在绿色产品LED芯片的水泥浆、油漆和油墨中混合的颜料、化妆品原料、防晒霜粒子、色素粒子、烧结粒子、电池活性物质、太阳能电池、热电元件、绝缘元件、催化剂微粒、纳米复合物质等的重要材料和技术中。



[0005]所述微粒或纳米粒子为了提高其质量和纯度及所要实现的特性而优选使用通过物理蒸镀工序的干式镀膜方法。但是所述通过物理蒸镀工序的干式镀膜方法大部分是在真空容器内完成,因此生产性降低,而成本变高。因此,在生产工地使用通过化学湿式工序的微粒生产方法而不是所述物理蒸镀方法。
[0006]因不得已的理由而通过物理蒸镀方法生产微粒时,其生产性非常低而产品的成本非常高,因此使用领域或产品受限制。
[0007]用于解决所述问题的先行技术大致分为两类,所述两类皆在原位(IN SITU)状态下涂抹大面积或多量的薄膜层后,将其卸到真空容器外部,并进行粉碎,制造薄膜群或薄膜粒子。
[0008]以下详细进行技术分析。
[0009]首先,第一类是如艾利丹尼森公司的美国专利6398999BI形态,在原位状态下利用多层薄膜层制造所要获取的薄膜层后,利用该薄膜层获取薄膜群或薄膜粒子,如上为了制造多层薄膜,在薄膜层和薄膜层之间通过蒸镀方法蒸镀可溶性(或离型性)薄膜层来制造交替排列多层所要获取的薄膜层和可溶性薄膜层的多层薄膜群后,将其卸到真空容器外部,进行一次粉碎后,为了溶解所述可溶性薄膜层而在溶剂内进行溶化后进一步进行粉碎,由此获取薄膜粒子。
[0010]第二类是如宝丽来公司的美国专利4168986形态,在蒸镀所要获取的薄膜层之前,首先在真空容器内将可溶性(或离型性)薄膜层蒸镀在被涂层基材的上面后,蒸镀所述所要获取的薄膜层,并为了在原位状态下,从被涂层材料分离所述薄膜层,传送至分离腔,在溶剂内溶解所述蒸镀的可溶性(或离型性)薄膜层进行分离后,将被涂层材料重新移动至蒸镀腔侧,重新蒸镀可溶性薄膜层和所要获取的薄膜层,并反复该工序,从而大量生产薄膜粒子。
[0011]所述两种大量生产方法通过物理蒸镀方法一定提高薄膜粒子的生产性,且降低成本,但因以下问题而实际上不能适用到生产工地上或严重受限。
[0012]先行技术中的所述第一种方法,交替所述所要获取的薄膜层和可溶性薄膜层而依次蒸镀,而且是在一个循环期间同时蒸镀的方式,因此,除了用于蒸发所要获取的薄膜层的蒸发源(EVAPORAT1N SOURCE)之外,还另外需要用于蒸发可溶性薄膜层的蒸发源、用于供应所述蒸发源能量的蒸发用电源装置及/或结合于蒸发源的蒸发遮板(SHUTTER)等附加装置,因此真空装置的制造和结构非常复杂且大型化,而且工序的实施和运营管理也很困难。
[0013]更大问题在于,为了交替所述所要获取的薄膜层蒸镀和可溶性薄膜层蒸镀,需要在一个循环周期内同时蒸发所述两个物质。同时蒸发两个物质时,必然在相同的真空容器内使所述两个物质的蒸汽相互扩散并干涉,由此导致在各个薄膜层中含有不同的物质。这大大降低各个薄膜层的纯度、质量和特性。
[0014]除了所述问题之外,所述可溶性薄膜层主要利用蒸汽压高的有机物来形成,因所述无机物蒸汽导致的真空容器内部和真空排管以及真空栗系统等的污染随着时间的流逝将会逐渐变严重,由此会影响整体系统。
[0015]通过如上过程,因所述污染源而污染真空栗和系统时,最终会导致完全损坏生产装置功能的结果。因此,所述第一种方法需要解决对于所述装置和薄膜的污染问题和薄膜特性降低等问题。
[0016]先行技术中的所述第二种方法,在蒸镀所述所要获取的薄膜层之前,首先在被涂层基材上面蒸镀可溶性薄膜层后,在所述蒸镀有可溶性薄膜层的被涂层基材上面蒸镀所要获取的薄膜层,然后传送到用于分离薄膜的分离容器区域,利用指定溶剂从所述被涂层基材分离所述所要获取的薄膜层后,将分离薄膜层的被涂层基材重新传送到蒸镀区域,反复蒸镀和分离工序,从而能够在完成所述分离工序的分离容器内大量收集薄膜粒子。所述薄膜粒子生产方法虽然概念想法出色,但在实施过程中具有各种问题,因此,因其装置的制造或运行和产品的质量污染等问题而难以实现。
[0017]所述两种大量生产方法使用以蒸汽状态蒸镀可溶性薄膜层的工序,因此为了提高所述可溶性物质的蒸汽压,需要加热到高温的加热工序。为了实施所述加热工序,需要增加加热源来供电,因此伴随有浪费能量问题。
[0018]更大问题在于,为了分离所述可溶性薄膜层,不仅需要将完成薄膜层蒸镀的被涂层基材传送到分离容器区域,还为了将完成薄膜分离的被涂层基材重新传送到蒸镀容器区域,所述蒸镀容器和分离容器其真空度可不同,但真空环境和空间需要相同。因此,为了分离所述可溶性薄膜层而使用的溶剂其蒸汽达到严重水准,并扩散到所述蒸镀容器区域而成为污染源,从而在各种部分和区域引发问题。
[0019]为了解决所述问题,本发明提供薄膜群制造方法、由此制造的薄膜群及薄膜粒子,为了通过不引发以上问题的方法提高生产性和质量,在原位状态下生产大量的薄膜群,并由此制造薄膜群和薄膜。在薄膜层和薄膜层之间插入被涂层材料的方法,其使用去除因所述各个物质的高的蒸汽压导致的污染问题的方法,从而不引发以上问题,而且能够获取薄膜层和被涂层材料被混合的薄膜群。
[0020]本发明具有如下效果。S卩,作为具有非常高的质量和特性,且环保无害的薄膜生产方法使用物理蒸镀方法,由此能够以低廉价格大量供应薄膜群和薄膜。
[0021]在制造所述薄膜群和薄膜粒子时,不仅能够减小真空装置的大小、结构及成本,还能大大减小生产时需要的空间和面积,因此能够生产成本低的经济型薄膜。
[0022]在制造所述薄膜群和薄膜粒子时,提高产品本身的质量,并大大减少真空装置的污染现象和故障率,大幅度减少维修时需要的人力、零件费和时间。

[0023]图1(甲)是在支撑基材5上交替涂抹有被涂层材料3和薄膜层I的状态图。
[0024]图1 (乙)是在图1 (甲)的状态下去除被涂层材料3的状态图。
[0025]图1 (丙)是在图1 (乙)的状态下薄膜层I被粉碎I次以上的状态图。
[0026]图2(甲)是在被涂层材料3的一面上一次蒸镀薄膜层I的状态图。
[0027]图2 (乙)是图2 (甲)的状态下朝被涂层材料3内推入薄膜层I进行混合的状态图。
[0028]图2(丙)是在图2(乙)状态下的被涂层材料3上二次蒸镀薄膜层I的状态图。
[0029]图2( 丁)是在图2 (丙)的状态下朝被涂层材料3内推入进一步蒸镀的薄膜层I进行混合的状态图。
[0030]图2(戊)是在图2(丁)状态下的被涂层材料3上三次蒸镀薄膜层I的状态图。
[0031]图2(己)是在图2 (戊)的状态下朝被涂层材料3内推入进一步蒸镀的薄膜层I进行混合的状态图。
[0032]图2(庚)是在图2 (己)状态下的被涂层材料3上四次蒸镀薄膜层I的状态图。
[0033]图3(甲)是支撑基材5上蒸镀具备被涂层材料3的薄膜层I的状态图。
[0034]图3(乙)是在图3(甲)的状态下分离薄膜层I而在另外的空间进行收集的状态图。
[0035]图3(丙)是在图3(乙)状态下的被涂层材料3上重新蒸镀薄膜层I的状态图。
[0036]图3( 丁)是在图3(丙)的状态下分离薄膜层I而在另外的空间与图3(乙)中收集的薄膜层I一起进行收集的状态图。
[0037]图3(戊)是在图3(丁)状态下的被涂层材料3上重新蒸镀薄膜层I的状态图。
[0038]图3(己)是在图3(戊)的状态下分离薄膜层I而在另外的空间与图3(乙)中收集的薄膜层I一起进行收集的状态图。
[0039]图4(甲)是具备有被涂层基材7的状态图。
[0040]图4(乙)是在被涂层基材的一个上蒸镀有薄膜层I的状态图。
[0041]图4(丙)是在蒸镀的薄膜层上接合分离材料9的状态图。
[0042]图4(丁)是蒸镀的薄膜层和分离材料同时从被涂层基材分离的状态图。
[0043]图4(戊)是在被涂层基材上重新蒸镀有薄膜层I的状态图。
[0044]图4(己)在蒸镀的薄膜层上接合有分离材料的状态图。
[0045]图4(庚)是蒸镀的薄膜层和分离材料同时从被涂层基材分离的状态图。
[0046]附图标记:
[0047]1:薄膜层,3:被涂层材料,5:载体(支撑基材),7:被涂层基材,9:分离材料
[0048]用于实施发明的最佳形态
[0049]为了解决所述问题,本发明的一形态的薄膜群,其包括在原位状态下通过混合的被涂层材料而以分离状态存在的至少两层薄膜层和在所述至少两层薄膜层之间混有的一层以上被涂层材料,所述薄膜层在蒸镀状态下其最大长度为薄膜层厚度的100倍以上,与所述被涂层材料混合的薄膜层其长度和厚度之比为2倍以上。
[0050]所述薄膜层是通过物理蒸镀方法(physical vapor deposit1n)形成的薄膜层,蒸镀时所述薄膜层的至少一部分形成在所述被涂层材料的表面上,所述薄膜层中的至少一层是所述被涂层材料在原位状态下进一步形成在至少其他一层薄膜层上后,通过物理蒸镀方法形成在所述进一步形成的被涂层材料的一部分以上,所述进一步形成的被涂层材料中的至少一部分是通过不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而在原位状态下以具有保持所述被涂层材料的流动性的指定范围粘度的状态向所述被涂层材料施加物理力量来弓I起变位而形成,所述薄膜层的厚度为0.1纳米以上50微米以下,所述被涂层材料为流动性物质或是可塑性物质,所述被涂层材料的至少一个表面物质在25°C下饱和蒸汽压为100托以下,同时软化点为650°C以下。
[0051]所述薄膜层涂层时点的所述被涂层材料其厚度比所述薄膜层的厚度厚,粘度为1cps以上,混合在所述薄膜层之间的被涂层材料中至少一部分也不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而以保持被涂层材料的流动性的状态引起变位,在原位状态下进行混合,混合在所述至少两层薄膜层之间的被涂层材料的混合工序是在所述薄膜层中的至少一层薄膜层形成在所述被涂层材料的表面后,在原位状态完成,在所述原位状态下混合的被涂层材料不采用在溶剂内溶解被涂层材料的方式,无需溶剂而通过至少向所述被涂层材料施加物理力量进行混合,最终所述薄膜群的薄膜层中的至少一部分被粉碎为薄膜蒸镀工序中大小的1/100以下来使用。
[0052]本发明的其他形态的薄膜群,其包括在原位状态下通过混合的被涂层材料而以分离状态存在的至少两层薄膜层和在所述至少两层薄膜层之间混有的一层以上被涂层材料,所述薄膜层在蒸镀状态下其最大长度为薄膜层厚度的100倍以上,与所述被涂层材料混合的薄膜层其长度和厚度之比为2倍以上。
[0053]所述薄膜层是通过物理蒸镀方法(physical vapor deposit1n)形成的薄膜层,蒸镀时所述薄膜层的至少一部分形成在所述被涂层材料的表面上,所述薄膜层中的至少一层是在原位状态下通过物理蒸镀方法形成在其他一层以上薄膜层与被涂层材料的一部分一起从所述被涂层材料(或载体)分离而露出的所述被涂层材料的残留部分(或载体)的一部分以上或向所述被涂层材料的残留部分(或载体)进一步供应的被涂层材料的一部分以上的薄膜层,所述进一步供应的被涂层材料中的至少一部分是通过不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而在原位状态下以具有保持所述被涂层材料的流动性的指定范围粘度的状态向所述被涂层材料施加物理力量来引起变位而供应,所述薄膜层的厚度为0.1纳米以上50微米以下,所述被涂层材料为流动性物质或是可塑性物质,所述被涂层材料的至少一个表面物质在25°C下饱和蒸汽压为100托以下,同时软化点为650°C以下,所述薄膜层涂层时点的所述被涂层材料其厚度比所述薄膜层的厚度厚,粘度为1cps以上,混合在所述薄膜层之间的被涂层材料中至少一部分也不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而经过被涂层材料与所述一层以上薄膜层一起从所述被涂层材料的其他一部分(或载体)分离及收集的过程,并与所述薄膜层一起在原位状态下进行混合,混合在所述至少两层薄膜层之间的被涂层材料的混合工序是在所述薄膜层中的至少一层薄膜层形成在所述被涂层材料的表面后,在原位状态完成,在所述原位状态下混合的被涂层材料不采用在溶剂内溶解被涂层材料的方式,无需溶剂而通过向所述被涂层材料和所述薄膜层施加物理力量,而将所述薄膜层至少粉碎一次以上进行混合,最终所述薄膜群的薄膜层中的至少一部分被粉碎为薄膜蒸镀工序中大小的1/100以下来使用。
[0054]本发明的其他另一形态的薄膜群,其包括在原位状态下通过混合的分离材料而以分离状态存在的至少两层薄膜层和在所述至少两层薄膜层之间混有的一层以上分离材料,所述薄膜层在蒸镀状态下其最大长度为薄膜层厚度的100倍以上,与所述分离材料混合的薄膜层其长度和厚度之比为2倍以上。
[0055]所述薄膜层是通过物理蒸镀方法(physical vapor deposit1n)形成(涂层)的薄膜层,蒸镀时所述薄膜层的至少一部分形成在所述被涂层基材7表面的一部分上,形成在所述被涂层基材表面的一部分上后,在原位状态下与所述分离材料9接合后,与所述分离材料一起从所述被涂层基材分离,所述薄膜层中的至少一层是首先形成在所述被涂层基材上的一层以上薄膜层与所述分离材料接合后,与所述分离材料一起从所述被涂层基材分离后,在原位状态下重新形成在所述被涂层基材上并进行分离,所述薄膜层中的至少两层其分别形成在所述被涂层基材并从所述被涂层基材分离的时点不同,所述被涂层基材中的至少一部分表面是至少反复两次在相同场所形成所述一层以上薄膜层后分离的过程的面,所述分离材料是不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而在原位状态下通过物理力量而不是蒸镀工序进行移动而与所述薄膜层接合,还通过物理力量与所述薄膜层一起从所述被涂层基材分离,具有指定范围粘度以在与所述薄膜层接合的时点和指定期间具有流动性的物质,所述薄膜层和所述被涂层基材的粘接力比所述薄膜层和所述分离材料的粘接力弱,所述薄膜层的厚度为0.1纳米以上50微米以下,所述分离材料为流动性物质或是可塑性物质,同时至少一个表面物质在25°C下饱和蒸汽压为100托以下,软化点为650°C以下,与所述薄膜层接合的过程和混合的过程中的至少一部分使用物理力量而不是蒸镀工序,所述薄膜群的薄膜层中的至少一部分被粉碎为薄膜蒸镀工序中大小的1/100以下来使用。
[0056]所述被涂层基材为与被涂层材料不同的概念,优选制造为至少表面的一部分具有离型性。被涂层基材物质本身可以是具有离型性的物质,但还可在被涂层基材表面形成一层以上离型层来使用。这是为了将蒸镀在所述被涂层基材表面的所述薄膜层与所述分离材料一起分离时,能够容易完成工序。此时,赋予离型性的方法并不属于本发明的范畴内,可通过公知的先行技术实施。可使用铝、氧化铝皮膜、橡胶树脂、氧化硅皮膜、铁氟龙等各种材料,但并不局限于此。
[0057]本发明的其他另一形态的薄膜群制造方法,其包括在原位状态下通过混合的被涂层材料而以分离状态存在的至少两层薄膜层和在所述至少两层薄膜层之间混有的一层以上被涂层材料,所述薄膜层在蒸镀状态下其最大长度为薄膜层厚度的100倍以上,与所述被涂层材料混合的薄膜层其长度和厚度之比为2倍以上。
[0058]所述制造方法包括:准备一种以上被涂层材料(复数)的步骤;准备一种以上涂层材料(复数)的步骤;将所述被涂层材料和涂层材料载入(load)到真空容器内的步骤;在所述被涂层材料的至少一部分涂抹由所述涂层材料而成并通过物理蒸镀方法形成的一层以上薄膜层的步骤a ;在所述步骤a中涂层的一层以上的薄膜层中至少一部分的上面进一步形成(或移动)被涂层材料的步骤b ;在所述步骤b或步骤b2中进一步形成的被涂层材料的至少一部分进一步涂层由所述涂层材料而成的一层以上薄膜层的步骤a2 ;在所述步骤a2中涂层的一层以上的薄膜层中至少一部分的上面进一步形成(或移动)被涂层材料的步骤b2 ;以及反复两次以上从所述步骤a2至步骤b2的工序的步骤r,所述被涂层材料为流动性物质或是可塑性物质,同时至少一个表面物质在25°C下饱和蒸汽压为100托以下,软化点为650°C以下,至少在形成在所述步骤b及步骤b2进一步形成(或移动)被涂层材料时,所述被涂层材料是通过不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而以具有保持所述被涂层材料的流动性的指定范围粘度的状态,至少向所述被涂层材料施加物理力量来引起变位而形成。
[0059]所述步骤a、步骤b、步骤a2、步骤b2以及步骤r是在原位状态下完成,至少混合在所述两层以上薄膜层之间的被涂层材料的混合工序是在所述薄膜层中的至少一层薄膜层形成在所述被涂层材料表面上后,在原位状态下完成,在所述原位状态下混合的被涂层材料不采用在溶剂内溶解被涂层材料的方式,无需溶剂而通过向所述被涂层材料施加物理力量进行混合,至少所述薄膜层涂层时点的所述被涂层材料其厚度比所述薄膜层的厚度厚,粘度为1cps以上。
[0060]本发明的其他另一形态的薄膜群制造方法,其包括在原位状态下通过混合的被涂层材料而以分离状态存在的至少两层薄膜层和在所述至少两层薄膜层之间混有的一层以上被涂层材料,所述薄膜层在蒸镀状态下其最大长度为薄膜层厚度的100倍以上,与所述被涂层材料混合的薄膜层其长度和厚度之比为2倍以上。
[0061]所述制造方法包括:准备被涂层材料的步骤;准备一种以上涂层材料的步骤;将所述被涂层材料和涂层材料载入到真空容器内的步骤;在所述被涂层材料的至少一部分涂抹由所述涂层材料而成并通过物理蒸镀方法形成的一层以上薄膜层的步骤a ;从所述被涂层材料(或载体)分离在所述步骤a中涂层的一层以上的薄膜层和所述被涂层材料中的至少一部分的步骤d ;在原位状态下,通过在所述步骤d(或步骤d3)中剩余的所述被涂层材料的残留部或载体材料进一步供应被涂层材料的步骤S ;在所述步骤S中进一步供应的被涂层材料的至少一部分涂层由所述涂层材料而成的一层以上薄膜层的步骤a3 ;从所述被涂层材料(或载体)分离在所述步骤a3中涂层的一层以上的薄膜层和所述被涂层材料中的至少一部分的步骤d3 ;以及反复两次以上从所述步骤S至所述步骤a3、d3的工序的步骤r,所述被涂层材料为流动性物质或是可塑性物质,同时至少一个表面物质在25°C下饱和蒸汽压为100托以下,软化点为650°C以下,在所述原位状态下与薄膜层混合的被涂层材料以保持一次以上流动性的状态在指定期间进行移动来改变位置,在所述步骤S中进一步供应被涂层材料时,所述被涂层材料是通过不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而以具有保持所述被涂层材料的流动性的指定范围粘度的状态,至少向所述被涂层材料施加物理力量来引起变位,由此进行供应。
[0062]所述步骤a、步骤d、步骤S、步骤a3、步骤d3以及步骤r是在原位状态下完成,至少混合在所述两层以上薄膜层之间的被涂层材料的混合工序是在所述薄膜层中的至少一层薄膜层形成在所述被涂层材料表面上后,在原位状态下完成,在所述原位状态下混合的被涂层材料不采用在溶剂内溶解被涂层材料的方式,无需溶剂而通过向所述被涂层材料和所述薄膜层施加物理力量而使所述薄膜层粉碎至少一次并进行混合,至少所述薄膜层涂层时点的所述被涂层材料其厚度比所述薄膜层的厚度厚,粘度为1cps以上。
[0063]本发明的其他另一形态的薄膜群制造方法,其包括在原位状态下通过混合的被涂层材料而以分离状态存在的至少两层薄膜层和在所述至少两层薄膜层之间混有的一层以上分离材料,所述薄膜层在蒸镀状态下其最大长度为薄膜层厚度的100倍以上,与所述分离材料混合的薄膜层其长度和厚度之比为2倍以上。
[0064]所述制造方法包括:准备被涂层基材的步骤;准备一种以上涂层材料的步骤;准备一种以上分离材料的步骤;将所述被涂层基材、涂层材料及分离材料设置或载入到真空容器内的步骤;在所述被涂层基材的至少一部分涂抹由所述涂层材料而成并通过物理蒸镀方法形成的一层以上薄膜层的步骤a ;相互接合所述步骤a中涂层的一层以上薄膜层和所述分离材料的步骤I ;从被涂层基材分离在所述步骤I中相互接合的所述薄膜层和分离材料的步骤m ;在所述步骤m(或步骤m5)后至少表面的一部分被露出的所述被涂层基材的一部分以上重新涂层由所述涂层材料而成并通过物理蒸镀方法形成的一层以上薄膜层的步骤a5 ;相互接合所述步骤a5中涂层的一层以上薄膜层和所述分离材料的步骤15 ;从被涂层基材分离在所述步骤15中相互接合的所述薄膜层和分离材料的步骤m5 ;以及反复两次以上从所述步骤a5至步骤15、m5的步骤r,所述步骤a、步骤1、步骤m、步骤a5、步骤15、步骤m5以及步骤r是在原位状态下完成,在所述原位状态下与所述薄膜层混合的所述分离材料无需溶剂而通过施加物理力量进行混合,在所述混合过程中,所述薄膜层和所述分离材料至少粉碎一次,所述分离材料是不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而在原位状态下通过物理力量而不是蒸镀工序进行移动而与所述薄膜层接合,还通过物理力量与所述薄膜层一起从所述被涂层基材分离,具有指定范围粘度以在与所述薄膜层接合的时点和指定期间具有流动性的物质,所述薄膜层和所述被涂层基材的粘接力比所述薄膜层和所述分离材料的粘接力弱,所述分离材料的平均厚度比所述薄膜层的平均厚度厚,所述薄膜层的厚度为0.1纳米以上50微米以下,所述分离材料为流动性物质或是可塑性物质,同时至少一个表面物质在25°C下饱和蒸汽压为100托以下,软化点为650°C以下,与所述薄膜层接合的过程和混合的过程中的至少一部分使用物理力量而不是蒸镀工序,所述薄膜群的薄膜层中的至少一部分被粉碎为薄膜蒸镀工序中大小的1/100以下来使用。
[0065]根据本发明的其他另一形态的薄膜群制造方法中,所述被涂层材料为常温下的流动性材料。所述被涂层材料为热可塑性材料,在原位状态下为了指定期间具有流动性,而即便是通过加热被热熔的状态,也能是本发明的一个形态。所述被涂层材料至少一部分位于支撑基材上面,作为热可塑性物质可制作为以独立(free-standing)状态具有指定形状。
[0066]根据本发明的其他另一形态的薄膜群制造方法中,在所述步骤b、步骤b2、步骤S中,进一步供应的所述被涂层材料中的至少一部分不是从其他场所移动及供应,而是所述经涂层的薄膜层引起变位而位于所述薄膜层下部的被涂层材料的一部分被露出而重新被供应的被涂层材料。
[0067]根据本发明的其他另一形态的薄膜群制造方法中,在所述步骤b中进一步形成被涂层材料的方法选自在所述步骤a中涂层的薄膜层上增加被涂层材料的方法和将在所述步骤a中涂层的薄膜层下部的被涂层材料中的一部分移动到步骤a中涂层的薄膜层上部的方法中的一种以上。
[0068]根据本发明的其他另一形态的薄膜群制造方法中,所述粉碎工序是在原位状态下完成,从所述粉碎工序开始到结束为止中的指定期间,在与所述粉碎的薄膜层混合的被涂层材料上面进一步形成至少一层薄膜层。在本发明中,原位状态是指在薄膜工序所进行的真空容器内完成的状态,即在大气压状态下,卸载所述被涂层材料或薄膜层之前停留在真空容器内的状态。
[0069]根据本发明的其他另一形态的薄膜粒子中,从所述薄膜群去除所述被涂层材料的一部分以上,并进一步进行粉碎以达到指定的大小来获取。
[0070]根据本发明的其他另一形态的薄膜粒子制造方法中,在所述薄膜群制造方法上进一步进行将所述薄膜群卸妆到真空容器外部的步骤、去除所述被涂层材料的一部分以上的步骤以及进一步粉碎为指定大小的步骤。本发明中获取的所有薄膜粒子可根据公知技术进一步经过随粒子大小的分析和分类步骤后提供。
[0071]根据本发明的其他另一形态的薄膜群制造方法中,所述薄膜层中的一部分以上是包含至少两层其他物质的多层构造的薄膜层。例如,所述薄膜层的至少一层的化学稳定性高于其他一层的化学稳定性。
[0072]根据本发明的其他另一形态的薄膜群制造方法中,在蒸镀所述薄膜层的时点,所述被涂层材料的表面形状作为在至少两处立体形成凹陷部及/或突出部的形态,所述薄膜层(复数)中的至少一部分以上形成为立体形状。
[0073]根据本发明的其他另一形态的薄膜群中,所述薄膜层为多层构造,外表面的薄膜层是相较于其他一个薄膜层化学稳定性高的被覆物质。
[0074]根据本发明的其他另一形态的薄膜群中,所述薄膜层中的至少一层是具有遮挡紫外线特性(吸收及/或反射功能)的薄膜。
[0075]根据本发明的其他另一形态的薄膜群中,所述薄膜层中的至少一部分为陶瓷材料。
[0076]根据本发明的其他另一形态的薄膜群中,所述薄膜层中的至少一部分为化妆品材料或调色材料。
[0077]根据本发明的其他另一形态的薄膜群中,所述薄膜层中的至少一部分为导电金属或热传导材料。
[0078]根据本发明的其他另一形态的薄膜群中,所述薄膜层中的至少一部分其长度/宽度的比率为10以上,具有长带形态或具有指定形状截面的带状。所述形态的薄膜其宽度和长度的规模为纳米级或微米级,这是有利于工业的构造,可由纳米丝等制造。
[0079]根据本发明的其他另一形态的薄膜群制造方法中,所述被涂层材料形成于指定的载体(支撑基材)的一面以上,所述载体(支撑基材)为薄膜或辊或循环带。
[0080]用于实施发明的形态
[0081]在说明本发明的制造方法之际,说明为各个步骤如所述步骤a、步骤b、步骤d有区另IJ,因此可理解为各个步骤的实施时点有区别,但可实施为在各个步骤依次排列的各个步骤实施区域同时反复循环,其有利于提高生产性。用于实施所述工序的一个形态可如上所述,在指定的载体的一面以上设置所述被涂层材料,所述载体可使用长薄膜形态或反复旋转的辊或循环带,但并不局限于此。
[0082]本发明具有包含所述薄膜群或薄膜粒子及所述两层以上其他物质的多层构造,但立体形成的薄膜群或薄膜粒子可使用于化妆品材料、颜料、涂料、医学材料、电子材料、催化剂粒子或电池活性物质等各种领域。不仅如此,作为所述薄膜的有用形态,至少一层的导电度或传热度大于其他一层的导电度或传热度。所述构造可作为电子零件的实装或配线等各种电子连接单元来使用。
[0083]本发明的薄膜群或薄膜粒子其被涂层材料为流动物质或可塑性物质,因此所述各个薄膜层中的至少一部分在指定时点的指定期间无需溶剂就能相互分离而相互间的位置发生改变。如上所述,被涂层材料可选自流动性物质或可塑性物质中的一种,饱和蒸汽压使用充分低的蒸汽压以防影响物理蒸镀薄膜的形成。
[0084]所述混合是指包含薄膜层、被涂层材料和进一步形成的一层以上薄膜层的物质如图1(甲)所示整齐层叠的状态和如图2(庚)及图3(己)所示以无秩序的状态相互混合的状态。所述薄膜层在最初蒸镀状态下其最大长度为薄膜层厚度的100以下时,质量会被提高,但大大降低生产性而没有经济性,当与所述被涂层混合状态下的薄膜层的长度/厚度之比为2以下时,不是薄膜(THIN FILM)形态而是纳米粒子(NANO PARTICLE)形态,因此不能生产本发明所要提供的薄膜粒子。
[0085]为了生产具有指定厚度的大量薄膜层,需要在原位状态下区分所述薄膜层和薄膜层之间的被涂层材料的混合,但被涂层材料的混合不需要经过蒸汽状态。这是因为通过在蒸汽状态下蒸镀在薄膜层和薄膜层之间的方法来进行混合时,所述各个其他物质的蒸汽相互扩散而混合,产生污染物质而降低薄膜的纯度和质量,而且还能引发真空装置和零件的污染和提尚成本等冋题。
[0086]因此,为了不经过蒸汽状态而在所述薄膜层和薄膜层之间混合被涂层材料,本发明的被涂层材料使用流动性物质或可塑性物质,并适当利用该物质的特性而以相互分离状态蒸镀所述薄膜层和薄膜层。所述被涂层材料为流动性物质尤其常温流动性物质时,无需加热,因此工序非常简单。
[0087]但是,为了使所述薄膜层具有立体形状或指定形状,当所述被涂层材料为流动性物质时,精密的形状调整会受限制。此时,使用加热流动性物质或热可塑性物质并使用压印方法时,可使用加热的模具(MOLD)在所述被涂层材料的表面压印所要制造的薄膜的立体形状,因此能够连续生产与所述模具上的立体形状相对应的薄膜。
[0088]如上所述,使用流动性被涂层材料时,利用蒸发工序无需经蒸汽状态进行蒸镀的工序就能在所述薄膜层之间利用机械力混合被涂层材料,因此,能够提供以解决以上蒸汽分子的相互污染问题或其他问题的状态制造的薄膜群。
[0089]该工序只能在所述薄膜层中的至少一层薄膜形成在被涂层材料表面后实施,此时才能与所述至少一层薄膜层完成混合,而且在原位状态下完成才能保持高的生产性。
[0090]所述薄膜层中的至少一层为所述被涂层材料在原位状态下进一步形成在至少一层薄膜层上后形成在所述被涂层材料表面,才能大量生产薄膜,此时也应由物理蒸镀方法形成才能满足以上本发明的目的。
[0091]所述被涂层材料不使用通过加热进行蒸发的工序,但优选在真空装置内的常温状态下其饱和蒸汽压低。在真空装置内的常温状态下,饱和蒸汽压为100托以下的物质中,饱和蒸汽压越低越好。当将超过100托的物质作为被涂层材料来使用时,虽然因物理蒸镀装置的结构和特性而有差异,但因被涂层材料的蒸汽阻碍或污染薄膜层的形成而引起严重问题。
[0092]所述被涂层材料需要在原位状态下至少指定期间内通过施加物理力量进行移动的工序,因此需要使用流动性物质或可塑性物质,所述被涂层材料被软化为可移动状态的软化点越低越好。
[0093]但是,为了加宽被涂层材料物质的选择范围,所述软化点优选为650°C以下。当使用软化点高于该温度的被涂层材料时,为了将温度提高到所述软化点需要消耗很多能量,而且物理蒸镀装置也为了处理高温的被涂层材料而其结构变复杂,因此严选构造和材料。
[0094]所述薄膜层涂抹时点的所述被涂层材料形成为厚度比所述薄膜层厚。被涂层材料的厚度形成为比所述薄膜层的厚度薄时,需要使用物理蒸镀方法,使用该物理蒸镀方法形成被涂层材料其是脱离本发明范畴的方法,而且为了实施该方法其物理蒸镀装置的结构非常复杂,而且需要的工序也严格。
[0095]在原位状态下,所述混合的被涂层材料不包含溶剂。大部分的溶剂其蒸汽压非常高而成为污染真空装置内的真空氛围的原因,而且还能影响真空栗等很多零件。因此,所述被涂层材料以没有溶剂的状态引起变位,并与所述薄膜层进行混合。
[0096]最终,所述薄膜群的薄膜层中至少部分被粉碎为蒸镀工序时的大小的1/100以下,如上粉碎过程的一部分可以在原位过程中实施,但是可根据需要而卸载到真空容器外部后利用粉碎及选别专用装置进行。
[0097]当所述被涂层材料的粘度为1cps以下时,所述薄膜层在蒸镀状态下难以保持指定条件的薄膜形态,而且其厚度也要属于规定范围内。
[0098]当薄膜层厚度为0.1纳米以下时,难以保持薄膜层形态,当高于50微米时,所述薄膜层难以粉碎成细微薄膜,而且浪费材料,薄膜蒸镀费用也增加。利用以上条件获取的薄膜群在原位状态下或卸载到真空容器外部的状态下,能够生产相较于蒸镀的时点的面积被粉碎为1/100以下大小的薄膜粒子。
[0099]工业利用可能性
[0100]根据本发明的薄膜群、薄膜以及制造方法,作为用于制造导电性糊剂的材料使用由银(Ag)或铜(Cu)或银铜复合层构成的微粒,而且还使用于制造在绿色产品LED芯片的水泥浆、油漆和油墨中混合的颜料、化妆品原料、防晒霜粒子、色素粒子、烧结粒子、电池活性物质、太阳能电池、热电元件、绝缘元件、催化剂微粒、纳米复合物质等的重要材料和技术中。

1.一种薄膜群,其包括在原位状态下通过混合的被涂层材料而以分离状态存在的至少两层薄膜层和在所述至少两层薄膜层之间混有的一层以上被涂层材料,所述薄膜层在蒸镀状态下其最大长度为薄膜层厚度的100倍以上,与所述被涂层材料混合的薄膜层其长度和厚度之比为2倍以上,其特征在于, 所述薄膜层是通过物理蒸镀方法形成的薄膜层,蒸镀时所述薄膜层的至少一部分形成在所述被涂层材料的表面上,所述薄膜层中的至少一层是所述被涂层材料在原位状态下进一步形成在至少其他一层薄膜层上后,通过物理蒸镀方法形成在所述进一步形成的被涂层材料的一部分以上,所述进一步形成的被涂层材料中的至少一部分是通过不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而在原位状态下以具有保持所述被涂层材料的流动性的指定范围粘度的状态向所述被涂层材料施加物理力量来引起变位而形成,所述薄膜层的厚度为0.1纳米以上50微米以下,所述被涂层材料为流动性物质或是可塑性物质,所述被涂层材料的至少一个表面物质在25°C下饱和蒸汽压为100托以下,同时软化点为650°C以下, 所述薄膜层涂层时点的所述被涂层材料其厚度比所述薄膜层的厚度厚,粘度为1cps以上,混合在所述薄膜层之间的被涂层材料中至少一部分也不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而以保持被涂层材料的流动性的状态引起变位,在原位状态下进行混合,混合在所述至少两层薄膜层之间的被涂层材料的混合工序是在所述薄膜层中的至少一层薄膜层形成在所述被涂层材料的表面后,在原位状态完成,在所述原位状态下混合的被涂层材料不采用在溶剂内溶解被涂层材料的方式,无需溶剂而通过至少向所述被涂层材料施加物理力量进行混合,最终所述薄膜群的薄膜层中的至少一部分被粉碎为薄膜蒸镀工序中大小的1/100以下来使用。2.一种薄膜群,其包括在原位状态下通过混合的被涂层材料而以分离状态存在的至少两层薄膜层和在所述至少两层薄膜层之间混有的一层以上被涂层材料,所述薄膜层在蒸镀状态下其最大长度为薄膜层厚度的100倍以上,与所述被涂层材料混合的薄膜层其长度和厚度之比为2倍以上,其特征在于, 所述薄膜层是通过物理蒸镀方法形成的薄膜层,蒸镀时所述薄膜层的至少一部分形成在所述被涂层材料的表面上,所述薄膜层中的至少一层是在原位状态下通过物理蒸镀方法形成在其他一层以上薄膜层与被涂层材料的一部分一起从所述被涂层材料(或载体)分离而露出的所述被涂层材料的残留部分(或载体)的一部分以上或向所述被涂层材料的残留部分(或载体)进一步供应的被涂层材料的一部分以上的薄膜层,所述进一步供应的被涂层材料中的至少一部分是通过不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而在原位状态下以具有保持所述被涂层材料的流动性的指定范围粘度的状态向所述被涂层材料施加物理力量来引起变位而供应,所述薄膜层的厚度为0.1纳米以上50微米以下,所述被涂层材料为流动性物质或是可塑性物质,所述被涂层材料的至少一个表面物质在25°C下饱和蒸汽压为100托以下,同时软化点为650°C以下,所述薄膜层涂层时点的所述被涂层材料其厚度比所述薄膜层的厚度厚,粘度为1cps以上,混合在所述薄膜层之间的被涂层材料中至少一部分也不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而经过被涂层材料与所述一层以上薄膜层一起从所述被涂层材料的其他一部分(或载体)分离及收集的过程,并与所述薄膜层一起在原位状态下进行混合,混合在所述至少两层薄膜层之间的被涂层材料的混合工序是在所述薄膜层中的至少一层薄膜层形成在所述被涂层材料的表面后,在原位状态完成,在所述原位状态下混合的被涂层材料不采用在溶剂内溶解被涂层材料的方式,无需溶剂而通过向所述被涂层材料和所述薄膜层施加物理力量,而将所述薄膜层至少粉碎一次以上进行混合,最终所述薄膜群的薄膜层中的至少一部分被粉碎为薄膜蒸镀工序中大小的1/100以下来使用。3.一种薄膜群,其包括在原位状态下通过混合的分离材料而以分离状态存在的至少两层薄膜层和在所述至少两层薄膜层之间混有的一层以上分离材料,所述薄膜层在蒸镀状态下其最大长度为薄膜层厚度的100倍以上,与所述分离材料混合的薄膜层其长度和厚度之比为2倍以上,其特征在于, 所述薄膜层是通过物理蒸镀方法形成(涂层)的薄膜层,蒸镀时所述薄膜层的至少一部分形成在所述被涂层基材(7)表面的一部分上,形成在所述被涂层基材表面的一部分上后,在原位状态下与所述分离材料(9)接合后,与所述分离材料一起从所述被涂层基材分离,所述薄膜层中的至少一层是首先形成在所述被涂层基材上的一层以上薄膜层与所述分离材料接合后,与所述分离材料一起从所述被涂层基材分离后,在原位状态下重新形成在所述被涂层基材上并进行分离,所述薄膜层中的至少两层其分别形成在所述被涂层基材并从所述被涂层基材分离的时点不同,所述被涂层基材中的至少一部分表面是至少反复两次在相同场所形成所述一层以上薄膜层后分离的过程的面,所述分离材料是不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而在原位状态下通过物理力量而不是蒸镀工序进行移动而与所述薄膜层接合,还通过物理力量与所述薄膜层一起从所述被涂层基材分离,具有指定范围粘度以在与所述薄膜层接合的时点和指定期间具有流动性的物质,所述薄膜层和所述被涂层基材的粘接力比所述薄膜层和所述分离材料的粘接力弱,所述薄膜层的厚度为0.1纳米以上50微米以下,所述分离材料为流动性物质或是可塑性物质,同时至少一个表面物质在25°C下饱和蒸汽压为100托以下,软化点为650°C以下,与所述薄膜层接合的过程和混合的过程中的至少一部分使用物理力量而不是蒸镀工序,所述薄膜群的薄膜层中的至少一部分被粉碎为薄膜蒸镀工序中大小的1/100以下来使用。4.一种薄膜群制造方法,其包括在原位状态下通过混合的被涂层材料而以分离状态存在的至少两层薄膜层和在所述至少两层薄膜层之间混有的一层以上被涂层材料,所述薄膜层在蒸镀状态下其最大长度为薄膜层厚度的100倍以上,与所述被涂层材料混合的薄膜层其长度和厚度之比为2倍以上,其特征在于, 所述制造方法包括:准备一种以上被涂层材料(复数)的步骤;准备一种以上涂层材料(复数)的步骤;将所述被涂层材料和涂层材料载入(load)到真空容器内的步骤;在所述被涂层材料的至少一部分涂抹由所述涂层材料而成并通过物理蒸镀方法形成的一层以上薄膜层的步骤(a);在所述步骤(a)中涂层的一层以上的薄膜层中至少一部分的上面进一步形成(或移动)被涂层材料的步骤(b);在所述步骤(b)或步骤(b2)中进一步形成的被涂层材料的至少一部分进一步涂层由所述涂层材料而成的一层以上薄膜层的步骤(a2);在所述步骤(a2)中涂层的一层以上的薄膜层中至少一部分的上面进一步形成(或移动)被涂层材料的步骤(b2);以及反复两次以上从所述步骤(a2)至步骤(b2)的工序的步骤(r),所述被涂层材料为流动性物质或是可塑性物质,同时至少一个表面物质在25°C下饱和蒸汽压为100托以下,软化点为650°C以下,至少在形成在所述步骤(b)及步骤(b2)进一步形成(或移动)被涂层材料时,所述被涂层材料是通过不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而以具有保持所述被涂层材料的流动性的指定范围粘度的状态,至少向所述被涂层材料施加物理力量来引起变位而形成, 所述步骤(a)、步骤(b)、步骤(a2)、步骤(b2)以及步骤(r)是在原位状态下完成,至少混合在所述两层以上薄膜层之间的被涂层材料的混合工序是在所述薄膜层中的至少一层薄膜层形成在所述被涂层材料表面上后,在原位状态下完成,在所述原位状态下混合的被涂层材料不采用在溶剂内溶解被涂层材料的方式,无需溶剂而通过向所述被涂层材料施加物理力量进行混合,至少所述薄膜层涂层时点的所述被涂层材料其厚度比所述薄膜层的厚度厚,粘度为1cps以上。5.一种薄膜群制造方法,其包括在原位状态下通过混合的被涂层材料而以分离状态存在的至少两层薄膜层和在所述至少两层薄膜层之间混有的一层以上被涂层材料,所述薄膜层在蒸镀状态下其最大长度为薄膜层厚度的100倍以上,与所述被涂层材料混合的薄膜层其长度和厚度之比为2倍以上,其特征在于, 所述制造方法包括:准备被涂层材料的步骤;准备一种以上涂层材料的步骤;将所述被涂层材料和涂层材料载入到真空容器内的步骤;在所述被涂层材料的至少一部分涂抹由所述涂层材料而成并通过物理蒸镀方法形成的一层以上薄膜层的步骤(a);从所述被涂层材料(或载体)分离在所述步骤(a)中涂层的一层以上的薄膜层和所述被涂层材料中的至少一部分的步骤(d);在原位状态下,通过在所述步骤(d)(或步骤d3)中剩余的所述被涂层材料的残留部或载体材料进一步供应被涂层材料的步骤(S);在所述步骤(S)中进一步供应的被涂层材料的至少一部分涂层由所述涂层材料而成的一层以上薄膜层的步骤(a3);从所述被涂层材料(或载体)分离在所述步骤(a3)中涂层的一层以上的薄膜层和所述被涂层材料中的至少一部分的步骤(d3);以及反复两次以上从所述步骤(S)至所述步骤(a3)、(d3)的工序的步骤(r),所述被涂层材料为流动性物质或是可塑性物质,同时至少一个表面物质在25°C下饱和蒸汽压为100托以下,软化点为650°C以下,在所述原位状态下与薄膜层混合的被涂层材料以保持一次以上流动性的状态在指定期间进行移动来改变位置,在所述步骤(S)中进一步供应被涂层材料时,所述被涂层材料是通过不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而以具有保持所述被涂层材料的流动性的指定范围粘度的状态,至少向所述被涂层材料施加物理力量来引起变位,由此进行供应, 所述步骤(a)、步骤(d)、步骤(S)、步骤(a3)、步骤(d3)以及步骤(r)是在原位状态下完成, 至少混合在所述两层以上薄膜层之间的被涂层材料的混合工序是在所述薄膜层中的至少一层薄膜层形成在所述被涂层材料表面上后,在原位状态下完成,在所述原位状态下混合的被涂层材料不采用在溶剂内溶解被涂层材料的方式,无需溶剂而通过向所述被涂层材料和所述薄膜层施加物理力量而使所述薄膜层粉碎至少一次并进行混合,至少所述薄膜层涂层时点的所述被涂层材料其厚度比所述薄膜层的厚度厚,粘度为1cps以上。6.一种薄膜群制造方法,其包括在原位状态下通过混合的被涂层材料而以分离状态存在的至少两层薄膜层和在所述至少两层薄膜层之间混有的一层以上分离材料,所述薄膜层在蒸镀状态下其最大长度为薄膜层厚度的100倍以上,与所述分离材料混合的薄膜层其长度和厚度之比为2倍以上,其特征在于, 所述制造方法包括:准备被涂层基材的步骤;准备一种以上涂层材料的步骤;准备一种以上分离材料的步骤;将所述被涂层基材、涂层材料及分离材料设置或载入到真空容器内的步骤;在所述被涂层基材的至少一部分涂抹由所述涂层材料而成并通过物理蒸镀方法形成的一层以上薄膜层的步骤(a);相互接合所述步骤(a)中涂层的一层以上薄膜层和所述分离材料的步骤(I);从被涂层基材分离在所述步骤(I)中相互接合的所述薄膜层和分离材料的步骤(m);在所述步骤(m)(或步骤m5)后至少表面的一部分被露出的所述被涂层基材的一部分以上重新涂层由所述涂层材料而成并通过物理蒸镀方法形成的一层以上薄膜层的步骤(a5);相互接合所述步骤(a5)中涂层的一层以上薄膜层和所述分离材料的步骤(15);从被涂层基材分离在所述步骤(15)中相互接合的所述薄膜层和分离材料的步骤(m5);以及反复两次以上从所述步骤(a5)至步骤(15)、(m5)的步骤(r),所述步骤(a)、步骤(I)、步骤(m)、步骤(a5)、步骤(15)、步骤(m5)以及步骤Cr)是在原位状态下完成,在所述原位状态下与所述薄膜层混合的所述分离材料无需溶剂而通过施加物理力量进行混合,在所述混合过程中,所述薄膜层和所述分离材料至少粉碎一次,所述分离材料是不经过以蒸汽状态蒸镀的过程而在原位状态下通过物理力量而不是蒸镀工序进行移动而与所述薄膜层接合,还通过物理力量与所述薄膜层一起从所述被涂层基材分离,具有指定范围粘度以在与所述薄膜层接合的时点和指定期间具有流动性的物质,所述薄膜层和所述被涂层基材的粘接力比所述薄膜层和所述分离材料的粘接力弱,所述分离材料的平均厚度比所述薄膜层的平均厚度厚,所述薄膜层的厚度为0.1纳米以上50微米以下,所述分离材料为流动性物质或是可塑性物质,同时至少一个表面物质在25°C下饱和蒸汽压为100托以下,软化点为650°C以下,与所述薄膜层接合的过程和混合的过程中的至少一部分使用物理力量而不是蒸镀工序,所述薄膜群的薄膜层中的至少一部分被粉碎为薄膜蒸镀工序中大小的1/100以下来使用。7.根据权利要求4至6中任一项所述的薄膜群制造方法,其特征在于,所述被涂层材料或分离材在常温下为流动性材料。8.根据权利要求4或5所述的薄膜群制造方法,其特征在于,在所述步骤(b)、步骤(b2)、步骤(S)中进一步供应的所述被涂层材料中的至少一部分不是从其他场所移动及供应,而是所述经涂层的薄膜层引起变位而位于所述薄膜层下部的被涂层材料的一部分被露出而重新被供应的被涂层材料。9.根据权利要求5所述的薄膜群制造方法,其特征在于,所述粉碎工序是在原位状态下完成,从所述粉碎工序开始到结束为止中的指定期间,在与所述粉碎的薄膜层混合的被涂层材料上面进一步形成至少一层薄膜层。10.一种薄膜粒子,其特征在于,从通过权利要求4至6中任一项的所述薄膜群制造方法制造的所述薄膜群去除所述被涂层材料的一部分以上,并进一步进行粉碎以达到指定的大小来获取。11.一种薄膜粒子制造方法,其特征在于,进一步包括:将在权利要求4至6中任一项中通过所述薄膜群制造方法制造的所述薄膜群卸载到真空容器外部的步骤、去除所述被涂层材料或分离材料的至少一部分的步骤以及进一步粉碎为指定大小的步骤。12.根据权利要求4至6中任一项所述的薄膜群制造方法,其特征在于,所述薄膜层中的一部分以上是包含至少两层其他物质的多层构造的薄膜层。13.根据权利要求4至6中任一项所述的薄膜群制造方法,其特征在于,在蒸镀所述薄膜层的时点,所述被涂层材料或被涂层基材的表面包括以指定形状在至少两处立体形成凹陷部及/或突出部,所述薄膜层(复数)中的至少一部分以上形成为立体形状。14.根据权利要求1至3中任一项所述的薄膜群,其特征在于,所述薄膜层中的至少一层是具有遮挡紫外线特性(吸收及/或反射功能)的薄膜。15.根据权利要求1至3中任一项所述的薄膜群,其特征在于,所述薄膜层为多层构造,外表面的薄膜层是相较于其他一个薄膜层化学稳定性高的被覆物质。16.根据权利要求1至3中任一项所述的薄膜群,其特征在于,所述薄膜层中的至少一部分选自金属材料、半导体材料、陶瓷材料中的一种以上。17.根据权利要求1至3中任一项所述的薄膜群,其特征在于,所述薄膜层中的至少一部分为化妆品材料或调色材料。18.根据权利要求1至3中任一项所述的薄膜群,其特征在于,所述薄膜层中的至少一部分(透明)为导电金属或热传导材料。19.根据权利要求1至3中任一项所述的薄膜群,其特征在于,所述薄膜层中的至少一部分(长度/宽度)的比率为10以上,具有长带形态或具有指定形状截面的带状。20.根据权利要求4或5中所述的薄膜群制造方法,其特征在于,所述被涂层材料形成于指定的载体(支撑基材)的一面以上,所述载体(支撑基材)选自薄膜、辊、循环带中的一种以上。
本发明涉及薄膜群和所述薄膜群制造方法以及、薄膜粒子和所述薄膜粒子制造方法,所述薄膜群包括在原位状态下通过混合的被涂层材料而以分离状态存在的至少两层薄膜层和在所述至少两层薄膜层之间混有的一层以上被涂层材料,所述薄膜层在最初蒸镀状态下其最大长度为薄膜层厚度的100倍以上,与所述被涂层材料混合的薄膜层其长度和厚度之比为2倍以上,所述薄膜粒子从所述薄膜群去除所述被涂层材料的一部分以上后,经过进一步进行粉碎的过程来制造,根据本发明能够解决先行技术中的装置的制造问题、维修问题、薄膜本身的污染问题、浪费能源等所有问题。
C23C14/00, C23C14/06
CN105189808
CN201380075548
李亨坤
李亨坤
2015年12月23日
2013年4月17日
WO2012148192A2, WO2012148192A3

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